2105040 – Systemintegration in der Mikro- und Nanotechnik 2

Die Vorlesung könnte auch den Titel tragen: "Wie man kleine Dinge zusammenbaut" ;-). Sie behandelt Technologien und Verfahren um in kleinen Dimensionen (meso, mikro, nano) Bauteile und Systeme zusammen zu bauen und illustriert diese an konkreten Bauteilen, die in der Vorlesung herumgereicht werden.. Teil 1 beginnt mit den Grundlagen und ersten Integrationsverfahren. Teil 2 führt weitere Verfahren und Anwendungen ein. Jeder Vorlesungsteil steht für sich selbst und kann unabhängig vom anderen gehört werden. Aufbau Teil 2: - Einführung in die Systemintegration - Integrationsverfahren (2.5/3D-Integration in Mikroelektronik und MEMS, Direct Laser Writing, Mikromontage, Self Assembly) - Anwendungen (Bioanalytik, Mikroverfahrenstechnik, Mikrooptik, Faseroptik, Siliziumphotonik)