2313734 – Grundlagen der Plasmatechnologie

Online Kurs Einführungsvorlesung von den physikalischen Grundlagen zu den Anwendungen der Plasmatechnologie. Wie funktiont die Sonne? Wie wird ein IC Prozessor hergestellt, wie funktioniert eine Niederdrucklampe, wie ein Ionentriebwerk….? Die Plasmatechnik umfasst einen riesigen Markt: für mehr als 1000 Mrd. EURO werden plasmatechnische Produkte weltweit verkauft. Die Vorlesung gibt einen praxisnahen Einblick in die Grundlagen der Plasmatechnologie und deren Anwendungen, wozu u.a. auch die CVD Prozesse und die Halbleiterprozesstechnik gehören. Diese Vorlesung vermittelt wichtiges Grundlagenwissen für den Besuch der Vorlesung „Plasmastrahlungsquellen“ im WS. Inhalt: • Anwendungen und Kenngrößen des Plasmas • Physikalische Grundlagen der Plasmen • Erzeugung von Technischen Plasmen (DC bis 10 GHz) • Plasmen in der technischen Anwendung Niederdruck- und Hochdruckplasmen • Diagnostische Methoden